WS-210シリーズ
φ150mm、φ200mmウエハの高速移載と高性能ID認識処理機能を搭載した全自動ウエハソータ
特長
- ダブルロボット採用により高スループット化を実現（450枚/Hr）
- 低コントラスト文字の認識が可能な高性能光学系を搭載
- 各種150mm/200mmキャリア兼用可能
- 省スペース2ポートタイプとロット分割・合成に適した4ポートタイプをラインナップ
- 工程内自動搬送システム（AMHS）とも対応可能
- 自動生産管理システムとの上位通信実績豊富
WS-211-4FA
仕様
| 項 目 | 内 容 | |
|---|---|---|
| 対象ウエハ | 径：150/200mm（兼用可能）、厚さ：150〜725μm | |
| 対象ウエハID | 文字種類：SEMIフォントOCR、CanonフォントOCR、2次元コード他 印字方式：レーザ印字（ソフト/ハードレーザ、シングル/ダブルドット） 印字面：ウエハ表面 |
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| 対象キャリア | 工程内各種キャリア、ウエハメーカ出荷キャリア | |
| ウエハ搬送 | ロボット：ダブル搬送ロボット ハンド：裏面吸着方式 |
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| データ管理 | （1） 着工実績：6ヶ月分（超える場合は古い月順に自動削除） （2） アラーム来歴：100件 （3） アシスト来歴：100件（ウエハID画像データ含む） |
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| ユーティリティ | 電源 | AC100V、単相、15A、50/60Hz |
| ドライエア | 520〜588kPa、流量30リットル/分 | |
| 真空 | -70〜-100kPa、流量30リットル/分 | |
| 装置寸法 | （W）660×（D）1,100×（H）1,500［mm］（2ポートタイプ） （W）1,230×（D）900×（H）1,500［mm］（4ポートタイプ） |
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| 質量 | 約500kg（2ポートタイプ） 約700kg（4ポートタイプ） |
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WS-220シリーズ
ウエハIDを識別、分類および結果データを処理する生産管理対応省スペース型高速ウエハソータ
特長
- 高スループット（450枚/Hr）
- 低コントラスト文字認識可能な高機能光学系で文字識別率を向上
- 4カセットタイプで省スペース化を実現
WS-221-4
仕様
| 項 目 | 内 容 | |
|---|---|---|
| 対象ウエハ | 径：150/200mm（兼用可能）、厚さ：150〜725μm | |
| 対象ウエハID | 文字種類：SEMIフォントOCR、CanonフォントOCR、2次元コード他 印字方式：レーザ印字（ソフト/ハードレーザ、シングル/ダブルドット） 印字面：ウエハ表面 |
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| 対象キャリア | 工程内各種キャリア、ウエハメーカ出荷キャリア | |
| ウエハ搬送 | ロボット：ダブル搬送ロボット ハンド：裏面吸着方式 |
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| データ管理 | （1） 着工実績：6ヶ月分（超える場合は古い月順に自動削除） （2） アラーム来歴：100件 （3） アシスト来歴：100件（ウエハID画像データ含む） |
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| ユーティリティ | 電源 | AC100V、単相、15A、50/60Hz |
| ドライエア | 520kPa〜580kPa、流量30リットル/分 | |
| 真空 | -70kPa〜-100kPa、流量30リットル/分 | |
| 装置寸法 | （W） 800×（D）1,100×（H）1,800［mm］（4ポートタイプ） | |
| 質量 | 約700kg（4ポートタイプ） | |
WS-300シリーズ
φ300mmウエハのクリーン搬送、枚葉生産管理、全自動搬送システム対応型ウエハソータ
特長
- ウエハ裏面非接触搬送方式の採用で付着異物を大幅に低減
- 低コントラスト文字の認識が可能な高性能光学系を搭載
- 各種FOUP、FOSBキャリアに対応可能
- 豊富な装置バリエーション（2〜10キャリアまで対応）
- 完全枚葉管理により高度な生産管理へ対応可能
- 自動生産管理システムとの上位通信実績豊富
WS-300-6F6
仕様
| 項 目 | 内 容 | |
|---|---|---|
| 対象ウエハ | 径：300mm、厚さ：775μm | |
| 対象ウエハID | 文字種類：SEMIフォントOCR、CanonフォントOCR、2次元コード他 印字方式：レーザ印字（ソフト/ハードレーザ、シングル/ダブルドット） 印字面：ウエハ表面及び裏面 |
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| 対象キャリア | FOUP、FOSB、FIMSドアタイプFOSB、オープンカセット | |
| ウエハ搬送 | ロボット：スカラ型クリーン搬送ロボット ハンド：エッジクランプ方式 |
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| データ管理 | （1） 着工実績：6ヶ月分（超える場合は古い月順に自動削除） （2） アラーム来歴：100件 （3） アシスト来歴：100件（ウエハID画像データ含む） |
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| ユーティリティ | 電源 | AC100V、単相、20A、50/60Hz |
| ドライエア | 520〜588kPa、流量30リットル/分 | |
| 真空 | -70〜-100kPa、流量30リットル/分 | |
| 装置寸法 | （W）1,280×（D）1,985×（H）1,800［mm］（2ポートタイプ） | |
| 質量 | 約750kg（2ポートタイプ） | |
