UG-500/510/多機能型APIMS
1ppt（1兆分の1）分析をリアルタイムで実現したクリーン化技術必須の分析装置
特長
- サンプルガスの直接導入により、インラインでのリアルタイム測定が可能
- マスクスペクトル、指定ピークの時間変化が観測可能
- 大気、環境分析対応可能
- 呼気分析対応可能
- 特殊ガス分析対応可能（シラン、フロンなど）
仕様
| 項 目 | 内 容 | |
|---|---|---|
| 対象ガス | UG-500 | 窒素、アルゴン |
| UG-510 | 窒素、アルゴン、水素、ヘリウム | |
| 対象不純物 | 水分、酸素、二酸化炭素、メタン | |
| イオン化方式 | 大気圧イオン化法 | |
| 分析計 | 四重極質分析計 | |
| 質量範囲 | m/z=3〜200 | |
| 保証感度 | 水分：5ppt 酸素：50ppt |
|
| ユーティリティ | 電源：AC200V 1φ 20A | |
| 装置寸法 | UG-500 | (W)500×(D)700×(H)1,100[mm] |
| UG-510 | (W)500×(D)700×(H)1,200[mm] | |
- UG-500カタログ(PDF)
